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[半导体材料] 负折射、超分辨、自发辐射增强:InAs 单材料 HMM 的 3-in-1 场景秀

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发表于 2025-8-11 08:07:39 | 查看全部 |阅读模式
负折射、超分辨、自发辐射增强:InAs 单材料 HMM 的 3-in-1 场景秀(DOI: 10.1364/oe.24.008735

一块看似普通的 InAs 晶圆,却能在中红外同时扮演“负折射棱镜”“亚衍射放大镜”“自发辐射加速器”。今天的推文用三组实验带你眼见为实。
【场景一:负折射】
  • 实验装置:FTIR + 刀口
  • 判定标准:TM 偏振 30° 入射,刀片左右遮挡后透过率呈“峰-谷”对称,且出现在 λ_p 处。
  • 实测:Sample 1 (λ_p=5.8 μm) 在 6 μm 处 ΔT/T₀=+18%/-15%,与 FDTD 仿真完美对齐。
【场景二:亚衍射成像】
  • 设计:把 HMM 做成半球形 solid immersion lens,ρ=0.5,λ_p=6.7 μm。
  • 仿真:对 8 μm 线宽物体,传统透镜分辨极限 4 μm;加上 HMM 超透镜后,点扩散函数 FWHM 压缩到 0.8 μm,实现 λ/10 超分辨。
  • 实验:正在流片中,预计 2025 Q4 出样。
【场景三:自发辐射 Purcell 增强】
  • 思路:把 InAs 量子点埋在本征 InAs 层,上下夹 HMM(金属 InAs 层)。
  • 计算:ρ=0.74,λ_p=9.5 μm,Q=15,Purcell 因子 F_p≈11。
  • 实测:时间分辨 PL 寿命由 2.3 ns 降到 210 ps,与理论 F_p 吻合。
【彩蛋:可调吸收器】
  • 同一工艺再多长三层:ρ=0.24 HMM + ρ=0.74 HMM + 金属镜 = 三波段完美吸收器,8.5 μm/10.2 μm/12.1 μm 吸收 >95%,可用于多气体同步检测。
【结语】InAs 单材料 HMM 让“一个外延、多种功能”成为现实。下一次中红外革命,也许就从这片小小晶圆开始。


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